無塵室 Cleanroom

化學品(光阻與顯影液)供應項目 Chemicals (Photoresist and developer)

• Acetone；Isopropyl alcohol；DI water；S1813G；LOR 5B；TMAH 2.2%；PRS-2050；MIBK(1:3 MIBK:IPA)；RemoverPG；Zep520a；PMMA A2(A4 A6 8.5A)
• 光阻與60mL深色廣口瓶，取用請登記(登記於顯微鏡旁電腦，取用表格內)
• 如需攜入其他化學藥品，請與蔡禮在聯絡(0903-635-495)

Clean room instrument location map

基本規格

• 潔淨度 – ISO 6 (class 1000) - 追蹤無塵室塵粒監測結果
• 室內溫度 22度C，濕度~60%
• 壓差 – 1mmHG
• 面積 - 地下一樓~ m2(含黃光區~m2)，一樓~ m2 (含黃光區~m2)

設備

• 製程、量測設備
• 超純水(黃光區內)、機台冷卻水
• 通風櫃 (黃光區內) - 光阻製程(一樓)、酸鹼濕式蝕刻(B1)
• 供應氣體 - 氮氣、氬氣、氧氣、六氟化硫(SF6)、四氟化碳(CF4)、八氟環丁烷(C4F8)
• 熱蒸鍍材料 - 靶材、鎢舟

無塵室使用規則

其他服務

• 無塵室定期提供無塵衣、帽及鞋類清洗，費用由使用者實驗室PI支付。