掃描式電鏡/電子束微影系統 (型號：Raith Pioneer Two)

【Instrument Keeper儀器管理員】康濟雲 / cykang[at]gate.sinica.edu.tw / 02-2789-8956

1. 儀器全名：掃描式電鏡/電子束微影系統 (型號：Raith Pioneer Two)
2. 服務簡介：
   • 掃描式電鏡/電子束微影系統利用電子束擷取奈米尺度解析度影像及在試片曝光製作晶片微結構圖案。
   • 機台裝配傾斜台、二次電子和in-lens背向散射電子偵測器，可利用影像進行樣品成分或磁域分析，判別材料不同的束縛態。
   • 搭配機台10-30 keV的電子加速電壓及>nA電流及20MHz掃描速率，快速曝寫公分大小尺寸樣品。
3. 儀器規格：
   • Accelerating voltage: 20eV - 30 keV
   • Beam current: 5 pA – 20 nA
   • Beam size <= 1.6nm
   • Beam current drift <= 0.5% /hour
   • Write speed - 20MHz
   • Minimum feature size <= 8nm
   • Field stitching <= 50nm
   • Overlay accuracy <= 50nm
   • Maximum sample size: 50mm sq. (not yet available)
4. 收費標準：
   2024/6 - 2024/7
   • 免費
   • 代工費用 - 3,000 NTD/hr
   • 2024/8 /16起開始收費
   • 1,500 NTD/hr
• 訓練費及考核費：1,500 NTD/hr
• 代工費用為使用費2倍