Oxford Plasmalab 80 Plus RIE System
【儀器管理員】
- 儀器全名:Reactive-Ion Etching 反應式離子蝕刻系統
- 廠牌型號(Brand/Model):Oxford Instruments Plasmalab 80Plus
- 服務簡介:OI RIE配備Ar, O2, CHF3和SF6四種氣體,提供蝕刻Si、SiO2、Si3N4和其他材料的氟製程。
- 儀器規格:
- Sample size: Max to 8 inch wafer
- Max flow rate per gas: 100 sccm
- RF generator: 300W @13.56MHz
- Typical process pressure: 30 – 100mtorr
- Gas flow: Ar, O2, CHF3, SF6
- 收費標準:推廣期間免費使用