Nova 600 NovaLab Dual Beam

【儀器管理員】苗宗悰 / ttmiau[at]gate.sinica.edu.tw / 02-2789-8933

1. 儀器全名：聚焦離子束與電子束顯微系統 (型號：Nova 600 NovaLab)
2. 廠牌型號(Brand/Model)：FEI Nova600 NanoLab
3. 燈絲類型(Emitter type)：Schottky type field emission gun, Ga-LMIS
4. 雙槍聚焦離子束整合掃描電子顯微鏡與掃描離子顯微鏡。掃描電子顯微鏡提供樣品表面形貌功能。而掃描離子顯微鏡提供樣品表面形貌、材料移除與材料沉積(白金、鎢與非導體)功能。樣品以能導電為佳，粉末狀鐵磁性材料禁止使用本設備觀察。
   The DBFIB (dual-beam focused ion beam) integrated with SEM and SIM(scanning ion microscopy). The SEM provides surface morphology. The SIM provided surface morphology, material removal, and material deposition (platinum, tungsten, and insulator). A conductive material sample is preferred. Powdery ferromagnetic materials are forbidden.
5. 服務簡介：
   • 以聚焦離子束濺射方式定義材料微奈米结構、搭配有機金屬前驅物誘導沉積金屬電極或導線，或搭配矽化合物進行絕緣物沉積。
   • 以聚焦離子束進行剖面試片之製作及利用電子束顯影系統進行微結構影像觀察。
   • 以外加探針進行樣品電性量測。
   • 穿透式電子顯微鏡TEM試片製備。
6. 儀器規格：
   • Accelerating Voltage:
   • Electrons: 0.2 to 30 kV
   • Ions: Up to 30kV
   • Electron Filament: Schottky Field Emitter
   • Detectors:
   • Electron Imaging - Everhart-Thornley detector (SED)
   • Electron Imaging - Through-the-lens detector
   • SEM Resolution:
   • 3.5nm @ 30kV at high vacuum
   • 3.5nm @30kV in ESEM mode
   • < 15nm @ 3kV in low vacuum mode
   • Ion Resolution: 7nm @ 30kV @ 1pA
   • Gas Injectors:
     • Platinum - (CH3)3Pt(CpCH3)
     • Tungsten - W(CO)6
     • Insulator – TEOS
7. 收費標準：
   • 1,000 NTD/hr
   • 訓練費及考核費：1,000 NTD/hr
   • 代工費用為使用費2倍