ERA-8800

【儀器管理員】賴韋僑 / simman[at]gate.sinica.edu.tw / 02-2789-8359

1. 儀器全名：掃描式電子顯微鏡 Scanning ElectronMicroscope (SEM/E-beam writer) 日本ELIONIX ERA-8800
2. 儀器位置：中央研院物理所B1無塵室(B1 Cleanroom)
3. 系統功能簡介：
   • Capabilities：本系統裝有 NPGS (Nanometer Pattern Generation System)。
   • 可曝出的最小線寬與間距原則上可達 100nm 以下，但實際上可達線寬是由所需 的前後製程要求, 及所需用的電子阻劑性質及剖面圖決定。
4. Specifications:
   • Electron gun: ZrO/W thermal field emission
   • Resolution: 1.5nm(30KV), 5nm(1KV)
   • Acceleration voltage: 0.3~30KV
   • Magnification: 20 ~600000
   • Specimen driving range:
     • X：0~40mm
     • Y：0~80mm
     • Z：4~36mm
     • Rotation：360 degree
   • Electrical shift of field of view:
     • X-Y：±30 μm
     • Rotation：360 degree
   • Holder size: 14mm x 14mm (max.)
5. Chargement: 1,000 NTD/1hr.
   *The cost of consumables and regular maintenance is divided equally according to the proportion of time spent
   • 訓練費及考核費：1,000 NTD/1hr
   • 代工費用為訓練費2倍