ELS-7000

【儀器管理員】

1. 儀器全名：超高解析電子束微影系統 (型號：ELS-7000)
2. 服務簡介：
   • 電子束微影系統是利用電子束在試片進行曝光以定義晶片微結構圖案。
   • 本機台的特色在於100 keV的電子加速電壓，可製作奈米等級的微結構圖案(~10奈米)。
   • 此外搭配本機台的高電流及電子束掃描速率，可以快速的曝寫公分甚至晶圓大小的尺寸。
3. 儀器規格：
   • Accelerating voltage: 100 keV
   • Beam current: 10 pA – 70 nA
   • Minimum dose time: 50 ns/dot
   • Writing field size: 75, 150, 300, 600, 1200 µm
   • Field dot number: 20000, 60000, 240000
   • Point-to-point distance: Writing field size / field dot number
4. 收費標準：
   • 工作日：6,000 NTD/3hr
   • 周末及國定假(放假日前晚六點起至上班日早上九點前)：4,000 NTD/3hr
   • 訓練費及考核費：6,000 NTD/3hr
   • 代工費用為使用費2倍