物理所精工室乃應物理所研究需求而於81年成立。初名機械室；由正編技佐謝家和負責，助理林呈應協助，以一般機械加工製作為主要任務。位址為舊風洞實驗室內。83年林員陞任技工另增工讀生郭忠賢，85年郭員陞任助理。86年正名精工室、同年成立精工室委員會，積極提升技術與服務品質並配合實驗室之研究方向採購相關精密設備。88年遷入現址新風洞實驗室，逐項建立各類耗材零件庫存量。89年另建立學生及助理專用機械工廠並開辦短期「機械加工訓練」獲得熱烈迴響。92年所慶舉辦精工室成品展、佳評如潮，增聘助理曾永明。93年配合院方政策、正式開放服務全院，儀器中心提供助理廖大宏支援服務工作。同年曾永明離職、另聘助理陳志勝。

　　精工室成立迄今十三年，承蒙歷任主管及精工室委員的支持，今日的精工室已奠定良好基礎開始茁壯成長。技術水準從最初的簡易機械加工提升至高精密之研發與製作。目前的設備涵蓋了傳統手動及電腦數控精機，如瑞士精密銑床、線切割、細孔放電加工機、焊接設備及真空檢測與清淨系統等，能從事高精密之真空組件設計與製作，並建立了齊全的零件庫存，支援本所及全院同仁之研究工作。 同時規劃了學生及助理實習機械室，並開辦短期之機械訓練課程，提升了學生之設計與製作能力，對本所之研究作出重大之貢獻。

　　精工室團隊多年來深刻體會到唯有用心與深入了解同仁的需求，才能用最少的人力發揮出最大的功效。所以近兩年來常有超水準的表現，為本所實驗室設計及製作出不少高精密之實驗零組件。未來將繼續朝向研發高級儀器與機械加工服務努力，使物理所精工室成為名副其實的國家實驗室之精密機械加工室。