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低溫 STM MACOR HOUSE 物理所 蘇維彬老師
使用設備一覽: CNC 銑床、車床 |
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高精密可加工陶瓷套件 物理所 陳洋元老師
使用設備一覽: CNC 銑床、車床 |
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鍍靶準直器 直徑 40mm 孔數 425 個 物理所 李尚凡老師
使用設備一覽: CNC 銑床、 CNC 線切割機 |
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精密真空細紋鍍膜組件 物理所 陳洋元老師
使用設備一覽: CNC 銑床、 CNC 線切割機 |
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精密高溫熱傳導熱電偶量測組件 物理所 陳洋元老師
使用設備一覽: CNC 銑床、 CNC 線切割機、車床、超音波清洗機、無塵式烤箱、氬焊機、氦氣測漏儀、渦輪分子幫浦系統 |
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液氮 低溫冷卻 STM 組件 物理所 張嘉升 老師
使用設備一覽: CNC 銑床、 CNC 線切割機、車床、超音波清洗機 |
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STM 組件 物理所 蘇維彬 老師
使用設備一覽: CNC 銑床、 CNC 線切割機、車床、超音波清洗機、無塵式烤箱。 |
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奈米粉末靶架 物理所 陳洋元 老師
使用設備一覽: 車床、銑床、氬焊機、超音波清洗機 |
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真空磁控濺鍍薄膜準直器
(儀器中心主任:姚永德、物理所:于淳)
說明:
一、目的 : 減少鍍膜所需時程及提昇製作次微米或奈米樣品的側向階梯形貌 .
二、設計與討論 : 依目的所需將樣品座做成可旋轉的中空立方體 並於四面前附上可插入之六角形蜂巢狀的準直器 .
三、特色 :
1. 可旋轉的中空立方體 : 可備製四種不同的樣品 減少樣品放入真空腔體次數和所需抽真空的時間 .
2. 可插入之六角形蜂巢狀的準直器 : 方便樣品貼黏在樣品座上 .
3. 六角形蜂巢狀的準直器 : 加強靶材原子或分子飛行的準直性以便提高次微米或奈米樣品的階梯覆蓋率 .
備註:
1、尺寸:略
2、使用設備:CNC銑床、CNC線切割機、氬焊機 |
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物理所精工室 製 94年 03月
精工室團隊與真空腔合影 總計 21 個腔口,真空值可達 7.2X10 -8 Torr
使用設備一覽:CNC 銑床、 CNC 線切割機、車床、銑床、超音波清洗機、無塵式烤箱、氬焊機、氦氣測漏儀、渦輪分子幫浦系統。 |
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品 名:8 英吋磁場加熱系統
實驗室:物理所李尚凡實驗室
功 能:把擁有鐵磁與反鐵磁界面的樣品放入此腔體中,進行在外加磁場作用下自高溫 (溫度必須高於反鐵磁的尼爾溫度,Neel temperature)冷卻後,再去探討樣品的 交換偏移效應( Exchange Bias)。
使用設備一覽:CNC 銑床、 CNC 線切割機、車床、銑床、超音波清洗機、無塵式烤箱、氬焊機、氦氣測漏儀、渦輪分子幫浦系統。
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品 名:物理汽象沉積用真空腔
實驗室:物理所陳洋元實驗室
功 能:用真空幫浦將腔體內的氣壓抽至操作壓力時,穩定加熱腔體內的坩鍋,使 坩鍋內的樣品以穩定的速率氣象沉積 至樣品座上,形成薄膜或是奈米線樣品。
尺 寸:直徑8英吋、高10英吋
使用設備一覽:CNC 銑床、 CNC 線切割機、車床、銑床、超音波清洗機、無塵式烤箱、氬焊機、氦氣測漏儀、渦輪分子幫浦系統。 |
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品 名:高壓弧光放電爐裝置(Arc melting furnace furnace)
實驗室:物理所陳洋元實驗室
功 能:利用尖端放電原理和瞬間電壓解 離鎢棒和無氧銅盤間的Ar氣體分,進而產生電流和高溫將 各種金屬或合金樣品融合
尺 寸:總高約70公分、弧光爐直徑約為16. 5公分、高約30公分,腔體為強化玻璃,底部有冷卻管路。
使用設備一覽:CNC 銑床、 CNC 線切割機、車床、銑床、超音波清洗機、無塵式烤箱、氬焊機、氦氣測漏儀、渦輪分子幫浦系統。 |
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品 名:超高真空之步進式奈米定位平台(inchworm type positioning stage )
實驗室:物理所黃英碩實驗室
功 能:提供奈米等級的位移量,可做為穿隧電流顯微儀的樣品迫近裝置。
優 點:可操作於超高真空中、高剛性可提供穩定的位移不會有過衝的現象
使用設備一覽:CNC 銑床、 CNC 線切割機、超音波清洗機。
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品名:X光顯微鏡用生物細胞載座
實驗室:物理所胡宇光實驗室
功能:用於超高解析度X光顯微鏡之生物樣品載台的固定與定位。
優點:借助主體結構的高剛性及外加磁鐵永久磁力的,使樣品
的定位準確度與可重複性得以穩定。
使用設備一覽:CNC 銑床、 CNC 線切割機、超音波清洗機。 |
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品 名:與超高真空之穿透式電子顯微鏡結合之穿隧電流顯微儀系統(UHV-TEM-STM system)
實驗室:物理所張嘉昇實驗室
功能:此一組件的特殊構形是為了能將穿隧電流顯微儀以及三軸奈米位移平台組裝於穿透式電子顯微鏡之物鏡之間,以期達到操控原子等級大小之物體。
使用設備一覽:CNC 銑床、 CNC 線切割機、車床、超音波清洗機。 |
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品 名:多功能彈性夾具(Fixture)
實驗室:應科中心鄭秀蘭老師實驗室
功能:為了改善噴霧系統的極限,設計 以微機電技術來製作一個以Silicon為基底的噴霧系統,可有效的使奈米顆粒微小化,並減少耗電量。而以此製作的噴嘴,需以一支撐物使其位於nodal plane,不影響其(共振頻率)resonant frequency
使用設備一覽:CNC 銑床、 CNC 線切割機、車床、超音波清洗機。 |
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品 名:噴霧裝置移位模型治具
實驗室:蔡振水院士實驗室
功能:本模型治具,具備精確控制毛細管和噴霧裝置相對位置的能力,達到把液體通過毛細管送到噴霧裝置,由於噴霧裝置長度及厚度不一,因此此模型治具具有一定的微調能力。
使用設備一覽:CNC 銑床、 CNC 線切割機、車床、超音波清洗機。
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品 名:薄膜拉伸器
實驗室:物理所周家復老師實驗室
使用設備一覽:CNC 銑床、 CNC 線切割機、車床、超音波清洗機。
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品 名:控制毛細管和噴霧裝置微調機構
實驗室:蔡振水院士實驗室實驗室
功能:本裝置主要用於精碓控制毛細管和噴霧置的相對位置,達到把膿液通過毛細管送到噴霧裝置,製作的噴霧裝置長度不一,厚度也可能會不一樣,所以裝置需有一定的微調能力
使用設備一覽:CNC 銑床、 CNC 線切割機、車床、超音波清洗機。
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品 名:升降機構
實驗室:物理所林耿慧老師實驗室
功能:主要的功能在於觀察軟性樣品,受壓時在不同位置變化的狀況最小位移讀取精度:0.01mm
使用設備一覽:CNC 銑床、 CNC 線切割機、車床、超音波清洗機。
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品 名:掃描穿隧顯微鏡
實驗室:物理所莊天明老師實驗室
使用設備一覽:CNC 銑床、 CNC 線切割機、車床、超音波清洗機。 |
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品 名:液態氦低溫無磁性實驗
實驗室:物理所李偉立老師實驗室
使用設備一覽:CNC 銑床、 CNC 線切割機、車床、超音波清洗機。 |
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品 名:Flow Cell 真空組件
實驗室:物理所吳茂昆院士實驗室
使用設備一覽:CNC 銑床、 CNC 線切割機、車床、超音波清洗機。 |
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