地點: 物理所無塵室 (Location: Institute of Physics, B1 clean room)
儀器設備管理者 : 黃櫻芬 (02-27880058 ext 4052) huangyf@phys.sinica.edu.tw
李固斌 (02-27880058 ext 4052) kupin@phys.sinica.edu.tw
蝕刻設備 (etching facilities)
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開放機台 |
每時段 |
費用 (price) |
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(反應離子蝕刻系統) |
1.5 hr |
$1500/每時段 |
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(電感藕合電漿蝕刻系統) |
1.5 hr |
$3500/每時段 |
黃光室 (yellow room facilities)
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開放機台 |
每時段 |
費用 (price) |
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Spin coater Hot plate |
1.5 hr |
$600/每時段 (含前述三項儀器使用) |
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