2008年08月19日 |
奈米核心設施將請中研院應科中心薛景中博士簡介TEM及EELS 設施: 於9月1日下午2:00pm 簡介TEM; 9月8日下午2:00pm簡介 EELS。地點在物理所5F第一會議室。歡迎參加。 |
| 2008年08月12日 | 2008年8月15日 8:00am~6:00pm，配合物理所冷卻水系統保養，無塵室暫不對外開放。 |
| 2008年08月06日 | 2008年8月15日 2:00pm~6:00pm，無塵室進行例行大掃除，暫不對外開放。 |
| 2008年07月30日 | FEG-TEM之 EELS 仍持續測試中，但為因應TEM需求，將視情形逐步開放委託操作時段。詳情請見TEM預約網頁，或洽管理者。 |
| 2008年07月29日 | DBFIB 維修完畢，即日起開放使用。 |
| 2008年07月25日 | 熱蒸鍍機(Evaporator)已經修復，即日起開放使用 。 |
| 2008年07月24日 | 熱蒸鍍機(Evaporator)臨時故障維修中，即日起暫停使用。重新開放日期將另行公告。 |
| 2008年07月22日 | DBFIB 因 stage controller 維修，即日起暫停使用。重新開放日期將另行公告。 |
| 2008年07月17日 | 為因應卡玫基颱風來襲可能之臨時停電及其他不可測之因素，RIE, ICP, 及 Evaporator 從7/17晚間起暫時停機 ，7/21(週一) 起將陸續復機。 |
| 2008年07月16日 | 71/6~7/18核心設施因配合物理所自強活動，相關人員公假，所有儀器僅供合格使用者自行操作 ，不提供委託或訓練服務。 |
| 2008年07月14日 | DBFIB測試完成，即日起開放使用 。 |
| 2008年07月09日 | Mask Aligner已經修復，即日起開放使用 。 |
| 2008年07月09日 | Mask Aligner因Z軸故障，即日起暫停使用。重新開放日期將另行公告。 |
| 2008年07月09日 | RIE真空系統測試完畢，即日起開放使用 。 |
| 2008年07月07日 | RIE真空系統持續測試中，測試完成前，使用者若需使用，請先知會管理者。 |
| 2008年07月07日 | DBFIB因電源供應器造成離子源不穩定，持續維修測試中，即日起暫停開放 。重新開放日期將另行公告。 |
| 2008年07月04日 | 熱蒸鍍機 (evaporator) 已經修復，即日起開放使用 。 |
| 2008年07月04日 | RIE因真空系統維修，即日起暫時停止服務 。重新開放日期將另行公告。 |
| 2008年07月02日 | 熱蒸鍍機因真空系統維修，即日起暫時停止服務 。重新開放日期將另行公告。 |
| 2008年07月02日 | DBFIB因電源供應器維修測試，7月2日晚 至7月6日暫時停止服務 。 |
| 2008年06月01日 | FEG-TEM因安裝 EELS 及測試調機，6月30日 (週一)起將暫時停止服務 。重新開放日期將另行公告。 |
| 2008年05月26日 | RIE已經修復完畢，即日起開放使用 。 |
| 2008年05月23日 | 熱蒸鍍機 (evaporator) 已經修復，即日起開放使用 。 |
| 2008年05月23日 | RIE 因 Mass Flow Controller (MFC) 故障，暫停使用，重新開放日將另行公告。 |
| 2008年05月22日 | 熱蒸鍍機 (evaporator) 因控制面板損壞，無法抽真空，暫停使用 ，重新開放日將另行公告。 |
| 2008年05月19日 | FEG-TEM 因光圈更換，5/23 至 5/26 暫停使用 。 |
| 2008年05月14日 | Mask Aligner維修完畢，即日起開放正常使用。 |
| 2008年05月12日 | Mask Aligner確認Z軸馬達毀損，即日起停止使用，重新開放日將另行公告。 |
| 2008年05月09日 | Mask Aligner因Z軸故障，即日起暫停使用，廠商預計於星期一早上前來維修，修復後會立即公告，請密切注意最新消息！ |
| 2008年05月06日 | ICP的mechanical pump維修完畢，即日起開放正常使用。 |
| 2008年05月05日 | ICP因mechanical pump維修，即日起暫停使用，重新開放日將另行公告。 |
| 2008年04月21日 | FEG-TEM 因所內停電需重行復機測試，直至本週五(4/25)才開放使用。 |
| 2008年04月17日 | 無塵室將於本週六(4/19)早上加裝電表，屆時將停止供應冷卻水及關閉無塵室空調。施工時間預計到下午，故週六全天無塵室禁止user進入，週日(4/20)無塵室重新開放進入。受關閉冷卻水影響的三部儀器：RIE, ICP, Evaporator預計於下週一(4/21)早上復歸完畢，週一中午以後始恢復預約。 |
| 2008年04月08日 | RIE pump維修完畢，即日起開放正常使用。 |
| 2008年03月28日 | RIE 因 pump維修，暫停使用，重新開放日將另行公告。 |
| 2008年03月03日 | FEG-TEM 因院區停電需重行復機測試，即日起至3月8日停止開放。 |
| 2008年02月01日 | 離子減薄機 (PIPS)電路板維修完畢，即日起開放正常使用。 |
| 2008年01月21日 | 原位於物理所 B207 之 TEM 樣品準備室已遷移至B206，使用規則不變。另離子減薄機 (PIPS)因電路板損壞維修中，暫停使用，重新開放日期將另行公告。 |
| 2008年01月21日 | 年假期間, 所有核心設施及共用設備停機及復機時間如下: 2 月 4日起全面停止預約使用，2月12至13日復機測試, 2/14 起恢復線上預約及一般使用。 停機期間如有特殊需求，請使用者及早與儀器管理者洽商。 |
| 2008年01月15日 | 奈米核心設施新設之技術交流討論區已經上網 (http://www.phys.sinica.edu.tw/~nanofacilities/Link.htm)， 歡迎使用。此園地供所有使用者互相交流實驗技術及使用心得，但需先註冊並使用真名才可張貼或回應文章，並嚴禁任何情緒性或攻擊性之言論。如有違反規則， 板主將立即刪除其文章。 |
| 2008年01月14日 | DBFIB高壓電系統維修完畢，即日起開放正常使用。 |
| 2008年01月10日 | Mask Aligner光源維修完畢，即日起開放正常使用。 |
| 2008年01月10日 | Mask Aligner因光源維修，暫停使用，重新開放日另行公告。 |
| 2007年12月31日 | 無塵室新共用設備熱蒸鍍系統，自2008年起開放使用。 有意使用或參加訓練者，請洽儀器管理者李固斌先生 (02-27880058 ext 4052)。 |
| 2007年12月31日 | DBFIB 因高壓電系統損壞，即日起停止使用，重新開放日期將另行公告。 |
| 2007年12月27日 | 無塵室空調系統已經恢復正常，即日起開放正常使用。 |
| 2007年12月25日 | 敬請使用者注意，奈米核心設施FEG-TEM，將於2008年起調整使用費率為每 3hrs $8000，或每1.5hrs $4000(原價)。 |
| 2007年12月25日 | 無塵室因空調管線工程，12月26日起暫停進入，重新開放日另行通知。 |
| 2007年12月21日 | ERA-8800已經保養完成，即日起開放正常使用。 |
| 2007年12月3日 | ERA-8800預定於12月12日起進行年度保養，屆時將暫停使用，重新開放日另行公布。 |
| 2007年11月27日 | 無塵室空調系統已經恢復正常，即日起開放正常使用。 |
| 2007年11月26日 | 無塵室因空調系統故障，暫停進入，重新開放日另行通知。 |
| 2007年11月19日 | ELS 7000 已恢復正常，即日起開放正常使用。 |
| 2007年11月15日 | ELS 7000更換電路版，暫停使用，重新開放日另行公告。 |
| 2007年11月15日 | ICP已經修復，即日起重新開放。 |
| 2007年11月14日 | ICP維修中，暫停使用，重新開放日期將另行公告。 |
| 2007年10月31日 | FIB已經恢復正常，即日起開放正常使用。 |
| 2007年10月29日 | RIE已經恢復正常，即日起開放正常使用。 |
| 2007年10月26日 | 無塵室因空調系統已經恢復正常，即日起開放正常使用。 |
| 2007年10月22日 | 無塵室因空調系統故障，禁止進入，重新開放日期將另行公告。 |
| 2007年10月22日 | FIB 因 冰水機故障維修中，暫停使用，重新開放日期將另行公告。 |
| 2007年10月22日 | RIE 因水路維修中，暫停使用，重新開放日期將另行公告。 |
| 2007年10月03日 |
有鑑於FEG-TEM使用委託時段滿載，原每週三的兩個日間時段(各3hrs)，將改為一天四個時段(各1.5hr)，以供需時較短之使用者預約。但第一或二優先之每個使用者帳戶所能預約之上限仍為每兩週三個時段，不得超過。其他預約規則不變。 因電腦系統作業不及，將暫時劃分每日為日間四個時段，然除週三外，其餘時間仍只分上下午兩個委託操作時段，詳洽儀器管理者。
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| 2007年9月09日 | 無塵室以及其內的核心設施、共用設備已經恢復正常，即日起開放正常使用。 |
| 2007年9月07日 | 由於物理所新建工程，無塵室將於9月8日起暫停開放使用， 重新開放日期將視工程進度另行公告，不便之處，敬請見諒。 |
| 2007年9月04日 | 物理所新建工程將於9月8日至9月9日拆除部分舊有建物，屆時無塵室將視情況暫停開放使用，不便之處，敬請見諒。 |
| 2007年8月28日 | FEG-TEM 將於 9月8日至9月12日進行定期保養，屆時儀器暫停開放使用，不便之處，敬請見諒。 |
| 2007年8月24日 | 因中研院高壓電供電系統維護，導致9/2須暫停供電，FEG-TEM 重行復機需時約兩日，因此TEM將於 9月2日至9月4日暫停開放使用，不便之處，敬請見諒。 |
| 2007年8月14日 | RIE 維修完成，即日起重新開放使用。 |
| 2007年7月24日 | 即日起，ERA-8800 改列於 "共用設備" 項下，需預約使用者請改連至共用設備預約頁。如有造成不便，敬請見諒。 |
| 2007年6月25日 |
因火災所造成之物理所新大樓地下室管制已解除，所有核心設施重新開放。
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| 2007年6月25日 |
因物理所新大樓B2於 6月24日
有實驗室發生悶燒的事件，雖火已撲滅，經消防隊以及環保處處理後發現可能有汙染的情況，為安全起見，所有位於物理所新館地下室之核心設施暫停使用，並請勿進入地下室區域。待可開放之時將另行公告。不便之處，敬請見諒。
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| 2007年6月22日 | 核心設施 FEG-TEM 將於 7月16 至 20日，停止一週的委託操作服務，屆時只開放合格使用者自行操作。 不便之處，敬請見諒。 |
| 2007年6月13日 | RIE 因故障維修中，暫停使用，重新開放日期將另行公告。 |
| 2007年6月08日 | 無塵室空調配電業已修復，即日起正常開放。 |
| 2007年6月05日 | 無塵室緊急關閉: 因天雨造成無塵室配電處跳電，待修復中。重行開放日期將視修復情形而另行公告，不便之處，敬請見諒。 |
| 2007年5月21日 | E-beam Writer ELS-7000 保養完成，即日起重新開放使用 。 |
| 2007年5月7日 | E-beam Writer ELS-7000 因 例行性保養與更換燈絲將於96年5月8日起暫停使用。重新開放日期將另行公告。 |
| 2007年4月16日 | 核心設施FEG-TEM 將於 5月7, 8兩日示範使用AFM/STM holder。 屆時將停止開放一般使用，不便之處，敬請見諒。 |
| 2007年4月14日 | 無塵室外置物櫃即日起開放使用，使用規定詳見置物櫃使用規定。 |
| 2007年4月14日 | 黃光室新增熱烤板EMS hotplate 1000，即日起開放使用，使用規定詳見EMS hotplate 1000使用規定。 |
| 2007年4月13日 | 無塵室將從96年5月1日起, 收取基本費(不得抵扣儀器使用費) 以提高使用效率。基本費之算法以每一使用人每半年使用為單位: 每一使用者每半年收基本費$ 6000(不另打折)，由所屬之研究員繳付。院內人員於次年核心設施收取使用費時一併收取。院外人員以現金先行繳付。 |
| 2007年3月19日 | 奈米核心設施E-beam writers (ERA-8800 ) 機台已維修完畢，即日起可開放使用。 |
| 2007年3月12日 | 即日起, 無塵室內共用設備訓練費用將不分中研院內院外, 統一收費標準。 |
| 2007年3月2日 | 奈米核心設施 DBFIB 機台已維修完畢，即日起可開放使用。 |
| 2007年3月2日 | 奈米核心設施E-beam writers (ERA-8800 ) 因故障維修中。開放日期將另行公告，諸多不便，請見諒 |
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2007年2月26日 |
DBFIB 因更換燈絲並機台測試，暫停使用。開放日期將另行公告。 |
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2007年2月7日 |
Mask Aligner光源業已維修完畢，即日起開放預約使用，但純水系統供水量不正常，已協請廠商維修中，如因顯影需要大量純水者請先聯絡劉家榮或巫英賓(TEL:27880058 ext 1130)。 |
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2007年2月6日 |
Mask Aligner因光源問題臨時需要維修，2月8日以前暫停開放使用，若有造成不便，敬請見諒。 |
| 2007年1月30日 | 年假期間, 所有核心設施及共用設備停機及復機時間如下: 2 月 15日起全面停止預約使用，3月1日起恢復線上預約及一般使用。 停機期間如有特殊需求，請使用者及早與儀器管理者洽商。 |
| 2007年1月15日 | 即日起，奈米核心設施行政聯絡窗口改為鍾怡娟小姐 (TEL:27880058 ext 1226; office B208B)，若有因職務調動造成不便之處，敬請見諒。 |
| 2006年12月29日 | FEG-TEM 課程將在近期展開第二階段上機實際演練，欲參加此階段之人員， 需通過初步筆試，即可申請上機演練，筆試次數不限，原則上兩週一次。 最近一期筆試時間是 1/5 ，下午 2:00~5:00 。 地點是物理所五樓第二會議室 ( 五樓電梯出口左側 )參閱考題請見TEM公佈欄 |
| 2006年12月18日 | 核心設施設備開'放通知， (FEG-TEM) 自下週ㄧ開放，其餘各項設備皆於本週起開放使用。 |
| 2006年12月13日 | 即日起，光罩製作之收費將不再依片數，而改依曝光時數而訂，詳情請見 雷射曝光機使用規則。請同時參見光罩製作申請流程，送件表及收費規定。 |
| 2006年12月05日 | Mask Aligner緊急送修,暫停開放使用,不便之處,敬請見諒. |
| 2006年11月23日 |
因應物理所施工，核心設施全部儀器自12月8日起暫停服務兩週，開放日期將另行公告。造成不便之處。敬請見諒。 |
| 2006年11月23日 |
奈米核心設施-場發射槍穿透式電子顯微鏡 (FEG-TEM)使用暨操作訓練課程公告 (2006年冬季)，詳情請見附件 附件訓練課程公告 報名於12月18日下午五點截止 敬請把握機會!! |
| 2006年11月10日 | mask aligner新梯次訓練開放報名，報名截止日期到11月24日星期五，請來信報名(信件內容請註明報名人聯絡方式，含郵件帳號及電話，以及計畫主持人）謝謝。若有問題，可找核心設施行政管理聯繫。 |
| 2006年11月10日 | 奈米核心設施E-beam writers (ERA-8800 ) 於下週一重新開放使用，E-beam Writer ELS-7000需待測試完成後，再行開放。諸多不便，請見諒 |
| 2006年11月10日 | 奈米核心設施-場發射槍穿透式電子顯微鏡 (FEG-TEM)，電力供應異常將暫停開放使用。 |
| 2006年11月09日 |
中研院應科中心-LEICA-SP5掃描式共軛焦顯微鏡，已完成裝機，將於近期對院內奈米計劃同仁開放。
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| 2006年11月08日 | 核心設施TEM電力供應異常,11/8~11/10將暫停開放使用 |
| 2006年10月30日 | RIE 業已維修完成，即日起重新開放使用。 |
| 2006年10月27日 | RIE 因故障維修中，暫停使用。重新開放日期將另行公告。 |
| 2006年10月20日 | 核心設施共用設備Mask aligner 業已維修完成，重新開放使用。 |
| 2006年10月17日 | 奈米核心設施E-beam writers (ERA-8800 ) 暫時停機。開放日期將另行公告，諸多不便，請見諒 |
| 2006年10月16日 | 無塵室因空調系統修復完成，重新開放使用，謝謝。 |
| 2006年10月13日 | 無塵室因空調系統發生故障，現禁止人員進入無塵室，並所有儀器暫停開放使用，敬請見諒。 |
| 2006年10月03日 | 奈米核心設施DBFIB業已修復，重新開放使用。 |
| 2006年09月29日 | 奈米核心設施DBFIB零件故障維修中，目前暫停開放使用，請各位使用者見諒 。 |
| 2006年09月28日 | 奈米核心設施DBFIB 新增EDS 功能, 歡迎申請使用. |
| 2006年09月27日 | 即日起FEG-TEM 非上班時段使用者, 五折優待!! |
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2006年09月27日 |
中研院目前電力供應正常，核心設施各項儀器皆已復機，重新開放申請使用。 |
| 2006年09月26日 | 奈米核心設施-場發射槍穿透式電子顯微鏡 (FEG-TEM)因機台維護，時間 10/06~10/11，10/12將重新開放。諸多不便，請見諒。 |
| 2006年09月25日 | 因中研院9月23日電力供應系統故障尚未完全修復，核心設施所有儀器目前暫停開放使用，請各位使用者見諒，待電力供應正常後，再行公告儀器開放時間。 |
| 2006年09月22日 | E-beam Writer ELS-7000維修完成,重新開放使用. |
| 2006年09月22日 | Mask Aligner緊急送修,暫停開放使用,不便之處,敬請見諒. |
| 2006年09月19日 | E-beam Writer ELS-7000 因故障維修中，暫停使用。重新開放日期將另行公告。 |
| 2006年09月19日 | RIE 業已維修完成，即日起重新開放使用。 |
| 2006年09月11日 | 物理所共用設備 mask aligner 因過度使用及機台老化, 已近停機送廠全面維修狀態. 因此將暫停給新的使用者申請, 將來再視機台情形開放. |
| 2006年09月11日 | 因物理所冷卻水系統臨時故障, 無塵室內核心設施儀器及FEG-TEM皆臨時停機暫停開放, 造成不便, 敬請見諒. |
| 2006年09月01日 |
無塵室因為院內高壓供電系統安全檢驗及維護保養停電的關係，將在本星期五(9/1)晚上會關閉無塵室，週末(六、日)禁止進入.敬請見諒. |
| 2006年09月01日 | RIE 因故障維修中，暫停使用。重新開放日期將另行公告。 |
| 2006年08月30日 | 即日起, 核心設施FEG-TEM 在非上班時段自行操作者, 其收費除原已較低的價格外, 進一步九折優惠, 歡迎多加利用. |
| 2006年08月28日 | mask aligner新梯次訓練開放報名，報名截止日期到9月8日星期五，於9月18日起開始訓練課程。請來信報名(信件內容請註明報名人聯絡方式，含郵件帳號及電話，以及計畫主持人）謝謝。若有問題，可找核心設施行政管理聯繫。 |
| 2006年08月25日 | 因應中研院高壓用電設備94年度高壓電系統保養日程,所有核心設施 9/4~9/5二天暫停服務,敬請見諒。 |
| 2006年08月23日 | 新修訂無塵室內熱源使用規範，請參閱無塵室使用守則。 |
| 2006年08月15日 | 奈米核心設施-場發射槍穿透式電子顯微鏡 (FEG-TEM)因機台檢修保養，將於8/24~25日停機，諸多不便，請見諒。 |
| 2006年08月08日 |
無塵室使用者守則公告新修正： (請參閱無塵室使用守則)
1.若沒有權限可進入無塵室的人員，一律不准進入無塵室。若有實驗上的必要，一定得進入無塵室的外來使用者，請預先聯絡劉家榮或吳憲昌，告知勢必得進入無塵室的原因！除了教授級訪問學者，一律謝絕參觀！若有違反規則者，一律禁止進入無塵室一個月，並通知所屬研究員。 2.無塵室內所有儀器(包括核心設備、共用設備與各實驗室私有設備)，必須通過各機器管理者訓練課程後方可使用，不得私自訓練！若有違反規則者，一律禁止使用儀器一個月，並通知所屬研究員，使用儀器若有任何損害，一律照價賠償！ |
| 2006年07月31日 | 奈米核心設施 E-beam writers已經復機，重新開放預約。 |
| 2006年07月26日 | 奈米核心設施Laser Writer 已經復機，重新開放預約。 E-beam writers 仍然測試中，開放日期將另行公告，諸多不便，請見諒。 |
| 2006年07月24日 | 奈米核心設施無塵室因UPS 臨時損毀，相關機台含E-beam writers (ERA-8800 及 ELS-7000) 和Laser Writer 皆暫時停機。開放日期將另行公告，諸多不便，請見諒。 |
| 2006年07月13日 | 奈米核心設施-場發射槍穿透式電子顯微鏡 (FEG-TEM)於7月19日重新開放使用。 |
| 2006年07月04日 | 奈米核心設施-場發射槍穿透式電子顯微鏡 (FEG-TEM)因機台檢修保養，將於7/10開始停機，開放日期將另行公告，諸多不便，請見諒。 |
| 2006年06月26日 | Mask aligner 業已維修完成，重新開放使用。 |
| 2006年06月20日 | Mask aligner 因故障維修中，暫停使用。重新開放日期將另行公告。 |
| 2006年06月14日 | mask aligner下一梯次訓練開放報名，報名截止日期到6月23日星期伍於6月28日起開始訓練課程。請來信報名(信件內容請註明報名人聯絡方式，含郵件帳號及電話，以及計畫主持人）謝謝。若有問題，可找核心設施行政管理聯繫。另請對ERA-8800訓練課程有參加意願者。務必報名參加本次訓練課程。 |
| 2006年06月05日 | RIE 現已修復，重新開放使用。 |
| 2006年05月29日 |
RIE
因故障維修中，暫停使用。重新開放日期將另行公告。 |
| 2006年05月25日 |
核心設施Mask alignermask aligner 及 DBFIB
業已修復，即日起開放申請使用。 |
| 2006年05月19日 | Mask aligner 因故障維修中，暫停使用。重新開放日期將另行公告。 |
| 2006年05月15日 |
雙槍聚焦離子束系統 (DBFIB) 因零件更換，暫停使用。重新開放日期將另行公告。 |
| 2006年05月12日 |
Mask aligner 業已維修完成，重新開放使用。 |
| 2006年05月10日 | Mask aligner 因 shutter 故障維修中，暫停使用。 |
| 2006年04月27日 | 奈米核心設施-場發射槍穿透式電子顯微鏡 (FEG-TEM)使用暨操作訓練課程4月20日 4月21日 4月25日 上課講義 請至講義下載區下載。 |
| 2006年04月24日 | 奈米核心設施-場發射槍穿透式電子顯微鏡 (FEG-TEM)因更換送片齒輪，於4月24日~5月1日暫停服務。 |
| 2006年04月21日 | 奈米核心設施之雷射曝光機 Laser Writer 重行開放收件。 |
| 2006年04月20日 | 奈米核心設施-場發射槍穿透式電子顯微鏡 (FEG-TEM)使用暨操作訓練課程講義開放下載。 |
| 2006年04月18日 | mask aligner訓練課程於95年4月24日開始，請報名學員注意。若有問題請與劉家榮先生聯絡。 |
| 2006年04月11日 | mask aligner下一梯次訓練開放報名，報名截止日期到4月17日星期一。報名請來信報名，謝謝。 |
| 2006年03月28日 | E-beam Writer ELS-7000於4月3日保養結束，重新開放申請。 |
| 2006年03月22日 |
奈米核心設施-場發射槍穿透式電子顯微鏡 (FEG-TEM)使用暨操作訓練課程公告 (2006年春季)，詳情請見附件 附件訓練課程公告 報名於4月14日下午五點截止 敬請把握機會 |
| 2006年03月10日 | 核心設施之雷射曝光機 Laser Writer 因雷射需再調整，即日起暫停收件，開放時將另行通知。雙槍聚焦離子束系統 (DBFIB)則已重行開放。 |
| 2006年03月07日 | 雙槍聚焦離子束系統 (DBFIB)因維修保養，即日起暫停開放一週。 |
| 2006年03月06日 | 即日起，核心設施 ICP etcher 及中研院內共用設施mask aligner 之申請案改以個人為單位，不再以計畫為單位。 其餘審核規定仍依本核心設施中心之規定。 |
| 2006年03月03日 | Laser Writer 已於2006年2月底換裝新雷射，目前一切測試正常，並開放全面正常收件。 |
| 2006年02月20日 | E-beam Writer ELS-7000自即日(2/20)起，因儀器零件更換而停止使用，停用時間預估約一個月，若更換完畢會在告知復機日期。造成不便之處，敬請見諒。 |
| 2006年01月25日 | 1/28日~2月2日年假期間核心設施停機，年假後將復機測試，ICP及 E-beam writer 2月6日起可重行預約使用，TEM為2月7日，FIB及Nano-particles and thin film fabrication System為2月10日，Laser Writer另行通知。 |
| 2006年01月24日 |
ERA-8800訓練課程開始報名，報名截止日期為２月２０號下午5點。然後進行名額資格審查，請有意願者註明姓名單位及簡述研究內容，資格審查通過後，即通知錄取並在３月１號起開始訓練課程。若有問題請聯絡核心設施行政管理員２７８８００５８－１０４５。謝謝！ 訓練費用, 一人兩萬元, 院內人士半價 . 需於訓練前付款, 付款方式另行通知. |
| 2006年01月06日 | 光罩對準曝光機使用者手冊， 文件已上網，歡迎下載。 |
| 2005年12月28日 | 本核心設施電子束曝光機， 即日起開放使用。使用辦法請參閱相關機台ERA-8800 及 ELS-7000 之使用及訓練規則。 |
| 2005年12月15日 | 本核心設施雷射曝光機之"光罩製作 規則--AutoCAD 適用" 文件已上網，歡迎下載。 |
| 2005年12月15日 |
中央研究院奈米核心設施將於 2005年12月28日舉辦
「中研院奈米核心設施製程設備開放說明會」。會中邀請本核心設施之製程設備負責人，中研院物理所陳啟東博士，簡介即將開放之核心設施ELS-7000
E-beam writer以及其他無塵室內之奈米元件製程設備的功能，以及使用申請方法。歡迎參加。 時間: 2005年12月28日, 2:00pm 地點: 中央研究院物理研究所 1F 演講廳
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| 2005年8月30日 | FEG-TEM因應中研院高壓用電設備94年度高壓電系統保養日程,9/5~9/6二天暫停服務,敬請見諒. |
| 2005年8月08日 | 為更有效管理, 即日起ICP etcher 及黃光室分開管理及收費。ICP etcher 之每時段費用下調為 $3500。 |
| 2005年8月04日 | FEG-TEM原訂於８月9日到８月12日進行 之冷卻系統及電路年度維護，改於８月16日到８月19日進行，屆時將暫停對外服務。不便之處，敬請見諒。 |
| 2005年8月03日 | 雷射曝光機(Laser Writer)即日起開放申請。本設施只接受與學術研究相關之申請案，有意使用者請務必線上申請， 若經通過，方有資格送件。但送件人必須直接與儀器管理者聯絡，討論技術細節，以避免設計與製作間有誤差。 |
| 2005年8月01日 | 雙槍聚焦離子束系統 (DBFIB)即日起開放。有意使用者請務必線上申請，詳填其欲利用此設施之研究計畫，以利審核。 |
| 2005年7月29日 |
FEG-TEM因實驗室要進行冷卻系統及電路年度維護，故從８月９日到８月１２日，將暫停對外服務。不便之處，敬請見諒。 |
| 2005年7月20日 |
中央研究院奈米核心設施將於94年7月29日星期五下午2:00 pm，於中央研究院物理研究所1樓會議廳舉辦“雙槍聚焦離子束系統
(DBFIB)
開放前說明會”，詳情請見附件及報名表。並請一律於7月26日前email
報名。 |
| 2005年7月01日 |
TEM 樣品準備室，即日起開放院內人士使用。 相關規定，費用等，請見其網頁。 |
| 2005年6月27日 |
物理所無塵室內核心設施，即日起開放使用。但因工程尚在進行中，可能因此導致部分儀器無法達到最佳狀況，請使用者自行斟酌使用。如果有重大工程進行需再次關閉無塵室，會盡量提前公告，請隨時注意最新消息。造成不便，敬請見諒。 |
| 2005年6月22日 |
因為現有無塵室上方的新建無塵室工程，即將於6月22日開始動工，鑑於初期動工之時，會使用"破碎機"打掉原有建物，可能會造成大量粉塵產生。所以無塵室會暫時關閉空調設備，故請各位使用者暫時停止進入無塵室。無塵室內相關核心設備也一併暫停使用。未來將視施工狀況，隨時公告恢復使用時間！造成各位使用者不便，敬請見諒！
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| 2005年6月21日 | 因實驗室管線破裂，導致FEG-TEM需緊急停機，現已連絡廠商修護管線，待修護工程結束後，將恢復對外服務，造成不便，敬請見諒。 |
| 2005年6月16日 | 6月24日(五)FEG-TEM因維修EDS需暫停對外服務，6月29日重新開放，不便之處，敬請見諒。 |
| 2005年6月16日 | 因受物理所新建無塵室動工影響，原訂94年6月開放之 Laser writer，將延至7 月後，視施工狀況再行開放。 |
| 2005年6月14日 | FEG-TEM因物理所內冷卻水系統工程施工，6月14日(星期二)停機一日，造成不便之處，敬請見諒。 |
| 2005年5月26日 | FEG-TEM因物理所內冷卻水系統工程施工，5月30日(星期一)停機一日，造成不便之處，敬請見諒。 |
| 2005年5月12日 | 關於FEG-TEM2005年春季訓練課程相關課程內容，請連結至FEG-TEM訓練課程網頁下載。 |
| 2005年5月6日 | 工研院將於5月12日舉辦Dual Beam Focused Ion Beam 說明會,有興趣者可至工研院參加,詳請請見高功能雙粒子束聚焦離子束顯微切割儀(DB-FIB)研討會報名表 |
| 2005年4月29日 | FEG-TEM使用暨操作訓練課程第三階段即將於5月23日開始，請學員準時上課。 |
| 2005年4月29日 | FEG-TEM因更換零件,故5月10日~5月20日暫停對外服務,不便之處敬請見諒 |
| 2005年4月28日 | 本網站資料庫程式修改中, 若因此造成使用者不便, 敬請見諒. 如有任何問題, 請隨時與管理者聯絡. |
| 2005年4月13日 | 中研院奈米核心設施FEG-TEM原服務時間為一時段四個小時,自94年五月一日起,一個時段調整為三個小時,收費標準由8000元改為6000元 |
| 2005年3月23日 |
FEG-TEM已恢復預約,
但是元素分析(EDS)將暫停使用.
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| 2005年3月11日 | FEG-TEM使用暨操作訓練課程(2005年春季)訓練課程筆試通過名單公佈,請通過之學員密切注意第三階段課程通知!! |
| 2005年3月9日 |
FEG-TEM因冰水加壓循環泵浦異常,導致機台無法正常運作.若已修復完成,將重新開放預約時段提供服務,造成不便之處,敬請見諒.
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| 2005年3月7日 | FEG-TEM因應中研院高壓用電設備94年度3月份停電保養日程,3月7日,3月8日,3月9日,三天暫停服務,敬請見諒. |
| 2005年3月1日 |
FEG-TEM使用暨操作訓練課程,第一階段已結束,第二階段3月1日之上課講義,歡迎學員下載 2005/03/01上課講義 |
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2005年2月17日 |
FEG-TEM使用暨操作訓練課程報名已經截止,請上課學員屆時準時上課,上課地點更改為物理所一樓演講廳,原第二階段3月3日之課程延期一日 改至3月4日下午兩點鐘至六點鐘 |
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2005年02月03日 |
奈米核心設施-場發射槍穿透式電子顯微鏡 (FEG-TEM)使用暨操作訓練課程公告 (2005年春季)，詳情請見附件 附件一訓練課程公告附件二 課程預訂進度表 附件三報名表 報名於2月17日截止 敬請把握機會
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2005年01月19日 |
FEG-TEM現已修復完成，現重新開放，請預約使用，造成不便之處，請多見諒。 |
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2005年01月17日
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FEG-TEM由於零件故障, 現請廠商維修中 將暫停開放，請預約使用者向儀器管理人更改預約時段，造成不便之處 請多見諒。 |
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2004年12月27日
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1.FEG-TEM已恢復開放預約。但目前只接受處理不需傾轉樣品座之案件。 2.報考自行操作執照的學員，將另外通知測試時間。 |
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2004年12月20日
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'Nanofabrication System真空系統修復完成,即日起開放預約。 |
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2004年12月6日
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FEG-TEM 目前停止預約至維修完成, 重新開放預約時會另行公佈. 敬請見諒． |
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2004年11月26日
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FEG-TEM因控制暨電腦系統出現異常，為了 安全起見 ，必須等到查明原因並將之排除後，再行開放。 目前機台正由原廠派員檢查、維護之中，因此對外服務預計 暫停一週(至12月3日) 。 不便之處，敬請見諒 |
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2004年11月25日 |
奈米核心設施之FE-TEM因電腦系統異常,造成TEM機台機械損壞,捷東工程師將於26日前來維修機台, 因此TEM26日對外之服務將暫停一天 |
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2004年11月16日 |
FEG-TEM由於儀器保養，原預計11月12日開放預約使用，延至11月24日始開放預約。 |
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2004年11月15日 |
Nanofabrication System因真空系統維修中，暫停對外開放，重新開放時會另行公佈.。 |
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2004年11月03日 |
FEG-TEM由於儀器保養，原預計11月12日開放預約使用，延至11月24日始開放預約。FEG-TEM將於2004年11月 04日至11月12日的上班時間內（每天09:00~18:00，例假日除外），供有資格報考自行操作執照的學員操作練習之用。因此不對外開放。 |
| 2004年11月02日 | 中央研究院奈米核心設施現已對外開放，歡迎申請使用。 |