2012年05月07日 |
ELS-7000雷射定位電路板故障已維修完成，即刻起開放使用。 |
| 2012年04月30日 | FIB 燈絲已更換完成，FIB 部份即刻起開放操作使用。 |
| 2012年04月26日 | 中央研究院奈米核心設施將於2012年5月28日舉辦 『場發射穿透式電子顯微鏡 (JEM-2100F) 使用暨操作訓練課程』，上課地點於中研院物理所一樓演講廳，主講者為曾傳銘博士（研究助技師）。課程內容將介紹奈米核心設施之穿透式電子顯微鏡(TEM)及電子能量損失能譜儀(EELS)等設備之操作及原理。有興趣參加的朋友請點選報名表。 |
| 2012年04月26日 | 奈米核心設施FEG-TEM為推廣低溫TEM之使用(可操作溫度：室溫至-180°C)，自第二季開始，有確實使用到低溫TEM操作之使用者，該使用時段可享五折優惠，有興趣者請洽儀器管理人：曾傳銘 (02)2789-6730 或 (02)2789-8394。 |
| 2012年04月26日 | 奈米核心設施FEG-TEM為推廣PIPS(離子薄化機)之使用，即日起將舉辦TEM樣品製備及PIPS的使用教學。有興趣者請洽儀器管理人：曾傳銘 (02)2789-6730 或 (02)2789-8394。 |
| 2012年04月26日 | 2011年5月1日(週二)適逢勞動節放假， 本中心相關儀器管理者依勞基法規定放假一天，當日儀器依假日模式開放。 |
| 2012年04月25日 | DBFIB 因 FIB 燈絲需更換，FIB 部份暫停開放，SEM 部份仍可正常使用，有需要者請與儀器管理者聯絡。FIB 重新開放日期將另行公告，造成不便敬請見諒。 |
| 2012年04月23日 | ELS-7000雷射定位電路板故障，暫時停止操作使用，維修完成再行公告開放，造成不便敬請見諒。 |
| 2012年04月20日 | 無塵室B1天花板空調濾網更換工程已完成，18:00起開放進入使用。 |
| 2012年04月12日 | 奈米核心設施預定4/20(星期五)於無塵室B1施作天花板空調濾網更換工程。為維護使用者安全及實驗品質，當日9:00~18:00無塵室B1禁止進入及操作使用，B1預計於18:00開放，無塵室1F則整日開放不受影響。請使用者提早安排實驗日程，造成不便敬請見諒。若有異動，請各位留意網頁最新消息或無塵室門口公告。
Cleanroom B1 will be closed from 9：00am to 6：00pm on Apr 20(Fri.) 2012. |
| 2012年03月23日 | 核心設施FEG-TEM更換電子槍作業及測試工作已完成，下星期一(3/26)起開放預約使用。 |
| 2012年03月12日 | 熱蒸鍍機 (evaporator)已復機完成，即刻起開放使用。 |
| 2012年03月12日 | 無塵室即刻起開放進入使用，熱蒸鍍機 (evaporator)尚在復機，完成後再行公告開放時間。 |
| 2012年03月06日 | 核心設施FEG-TEM為因應3/11(日)物理所停電及3/14(三)-3/25(日)更換新FEG電子槍作業，因此TEM將於3/11至3/27暫停預約服務，預計3/28(三)後再開放預約使用。造成不便，敬請見諒。 |
| 2012年03月05日 | 為配合中研院院區停電及無塵室例行性大掃除請使用者注意∼ 1. 3/09 (五) 9：00 – 17：00 無塵室將進行例行性大掃除不對外開放，並訂於5：00pm送洗無塵衣，預計送回時間為3/12(一)午前。欲送洗者請於下午3點前將無塵服放置於更衣間，並確認衣、鞋及背袋皆清楚寫有自己姓名；第二批送洗時間為3/16(五)5：00pm，預計送回時間為3/19(一)午前，需第二批時間送洗者請email連絡李逸倫小姐 leecl@phys.sinica.edu.tw 以作確認。 |
| 2012年02月02日 | VSM 及 熱蒸鍍機(Thermal Evaporator) 已回復正常，即刻起開放使用。 |
| 2012年01月30日 | 無塵室即刻起開放進入，奈米核心設施設備除熱蒸鍍機（Thermal Evaporator）PUMP維修尚未回復之外，其餘機台皆開放預約操作使用。熱蒸鍍機（Thermal Evaporator）重新開放日期將另行公告，造成不便敬請見諒。 |
| 2012年01月12日 | VSM 出現異常目前暫停使用，重新開放日期將另行公告，造成不便敬請見諒 。 |
| 2012年01月10日 | 無塵室訂於1/18(三)起關閉以進行各機台歲末維修保養，敬請使用者提早安排實驗時程。預訂1/30(一)進行復機，情況順利再行開放時間即為1/31(二)，若有異動將再行公告，請使用者使用前先行查閱最新消息或門口公告。 Cleanroom will be closed during 01/18 to 1/30 for the Chinese New year holidays. Cleanroom service will be resumed on 1/31. |
| 2011年12月26日 | FIB SEM部份已可正常使用，即刻起開放服務 。 |
| 2011年12月21日 | FEG-TEM已修復可正常使用，即日起開放預約服務。 |
| 2011年12月15日 | 無塵室預定於12/23(星期五)施作空調年度保養工程，為維護使用者安全，當日9:00~18:00無塵室禁止進入及操作使用，若有異動，請各位留意網頁最新消息或無塵室門口公告。
Cleanroom will be closed from 9：00am to 6：00pm on Dec 23(Fri), 2011. |
| 2011年12月14日 | FEG-TEM機台於12/13(二)發生異常況狀將進行檢修，即日起暫停預約服務，待機台情況正常，再行公告開放使用，造成不便敬請見諒。 |
| 2011年12月08日 | FIB因燈絲臨時需做更換，即刻起SEM部份暫停服務，FIB部份正常使用。SEM重新開放日期將另行公告，造成不便敬請見諒。 |
| 2011年12月01日 | RIE已修復，即刻起回復正常操作使用。 |
| 2011年11月28日 | 無塵室抽風排氣工程已完工正常運作，無塵衣亦已送回，即刻起開放無塵室進入及操作使用。 |
| 2011年11月23日 | RIE因main valve異常，目前僅開放高壓製程操作使用，低壓製程部份待修復後再行公告使用，造成不便敬請見諒。 |
| 2011年11月23日 | VSM已回復正常，即刻起開放使用。 |
| 2011年11月21日 | VSM故障目前暫停使用，待機台修復再行公告開放使用，造成不便敬請見諒。 |
| 2011年11月17日 | 1. 由於無塵室抽風排氣工程施作將停止抽氣，為維護使用者安全，預定於11月25~28日無塵室全天禁止進入及操作使用，若提前完工將會提早開放，請各位留意網頁最新消息或無塵室門口公告。
2. 11/25(五) 9：00 am - 5：00 pm 無塵室同時將進行例行性大掃除暫不對外開放，並訂於5：00pm送洗無塵衣，預計送回時間為11/28午前。欲送洗者請於下午3點前將無塵服放置於更衣間，並確認衣、鞋及背袋皆清楚寫有自己姓名；第二批送洗時間為12/02(五)5：00pm，預計送回時間為12/05午前，需第二批時間送洗者請email連絡李逸倫小姐 leecl@phys.sinica.edu.tw 以作確認。
1.Cleanroom will be closed during 11/25(Fri)~11/28(Mon).
2.Clean room will be temporarily closed for routine cleaning from 9：00am to 5：00pm on Nov 25, 2011. Laundry service for cleanroon suits: (1) pick up time: 11/25(Fri.) 5:00pm, return time 11/28(Mon.) 12:00pm (2) pick up time: 12/02(Fri.) 5:00pm, return time 12/05(Mon.) 12:00pm If you wish to have your cleanroom suit sent to laundry in the second run, please contact Ms. Lee leecl@phys.sinica.edu.tw as soon as possible. |
| 2011年11月16日 | RIE 已修復，即刻起開放使用。 |
| 2011年11月14日 | RIE 因pump出現異聲，目前暫停使用。重新開放日期將另行公告，造成不便敬請見諒。 |
| 2011年10月26日 | 中研院奈米核心設施TEM操作訓練課程即將於本週四(10/27)及週五(10/28)於中研院物理所一樓演講廳舉行，本次課程的主要內容資料，歡迎參加學員下載參考。JEM2100F-SOP JEM-2100F_Instructions |
| 2011年10月26日 | FEG-TEM已可正常使用，即日起開放預約服務。 |
| 2011年10月13日 | FEG-TEM機台再次發生異常情況將進行檢修，即日起暫停預約服務，待機台情況正常，再行公告開放使用。 |
| 2011年10月11日 | FEG-TEM已可正常使用，即日起開放預約服務。 |
| 2011年10月07日 | 中研院奈米核心設施即日起提供微影製程簡介影片(中文版)，供初學者觀看以學習最基本的製程。本影片並未提供公開播放，有意借閱者請洽李逸倫小姐 (02-27898956)。 |
| 2011年10月06日 | FEG-TEM機台異常將進行檢修，即日起暫停預約服務，待機台情況正常，再行公告開放使用。 |
| 2011年10月03日 | 中研院奈米核心設施開放委託操作一般黃光製程及 e-beam 製程，收費將以個案計。有意委託製作者，請與賴水金先生(02-27898956) 聯絡討論。 |
| 2011年09月29日 | 中研院奈米核心設施FEG-TEM即日起開放受理有機電子元件(organic electronics, such as OLED, OPV, etc)樣品分析，有興趣者請洽管理人：曾傳銘 研究助技師 (02)2789-6730 或 (02)2789-8394。 |
| 2011年09月29日 | 中央研究院奈米核心設施將於2011年10月27日及28日兩天舉辦 『場發射穿透式電子顯微鏡 (JEM-2100F) 使用暨操作訓練課程』，上課地點於中研院物理所一樓演講廳，主講者為曾傳銘博士（研究助技師）。課程內容將介紹奈米核心設施之穿透式電子顯微鏡(TEM)及電子能量損失能譜儀(EELS)等設備之操作及原理，以及TEM樣品製備方法。有興趣參加的朋友請點選報名表。 |
| 2011年09月22日 | ELS-7000 e-beam writer 已修復完成，即刻起開放使用。 |
| 2011年09月13日 | Thermal Evaporator(熱蒸鍍機) 已修復完成，即刻起開放使用。 |
| 2011年09月08日 | 熱蒸鍍機真空異常，暫停使用。重新開放日期將另行公告，造成不便敬請見諒。 |
| 2011年09月04日 | ELS-7000 E-beam writer 真空異常，暫停使用。重新開放日期將另行公告，造成不便敬請見諒。 |
| 2011年08月26日 |
配合中研院院區停電，奈米核心設施停止服務時間如下: 1. 9/2(五) 17:00~9/5(一)12:00，無塵室暫停服務，請勿進入。除熱蒸鍍機外，所有機台於9/5(一)12:00 起開放。 熱蒸鍍機於復機完成後即行開放。Cleanroom will be closed during 9/2(Fri) 17:00 ~ 9/5(MOn) 12:00. 2. TEM 於9/2(五) 12:00~9/7(三)17:00 停止服務。TEM room will be closed during 9/2(Fri) 12:00 ~ 9/7 (Wed) 17:00. |
| 2011年08月23日 | 因應物理所施工及氮氣停止供應，無塵室及所有機台於 2011/08/26 當日暫停服務。 |
| 2011年08月11日 | RIE 已修復，即刻起開放使用。 |
| 2011年08月11日 | ERA 8800目前已 修復，即刻起開放使用。 |
| 2011年08月08日 | RIE RF generator異常，目前暫停使用。重新開放日期將另行公告，造成不便敬請見諒。 |
| 2011年08月08日 | ERA 8800故障，目前暫停使用。重新開放日期將另行公告，造成不便敬請見諒。 |
| 2011年08月05日 | 中研院奈米核心設施提供奈米材料電性量測用晶片，可搭配 e-beam writer 等使用，有需求者歡迎與李逸倫小姐聯絡(02-27898956)。 |
| 2011年08月03日 | RIE業已修復，即刻起開放使用。 |
| 2011年08月01日 | RIE scroll pump出現異聲，目前暫停使用。重新開放日期將另行公告，造成不便敬請見諒。 |
| 2011年07月29日 | 08/05(五) 9：00 am - 5：00 pm 無塵室將進行例行性大掃除暫不對外開放，並訂於5：00pm送洗無塵衣，預計送回時間為08/08午前。欲送洗者請於下午3點前將無塵服放置於更衣間，並確認衣、鞋及背袋皆清楚寫有自己姓名；第二批送洗時間為08/12(五)5：00pm，預計送回時間為08/15午前，需第二批時間送洗者請email連絡李逸倫小姐 leecl@phys.sinica.edu.tw 以作確認。 (1)Clean room will be temporarily closed for routine cleaning from 9：00am to 5：00pm on Aug 05, 2011. (2)Laundry service for cleanroon suits: 1. pick up time: 08/05(Fri.) 5:00pm, return time 08/08(Mon.) 12:00pm 2. pick up time: 08/12(Fri.) 5:00pm, return time 08/15(Mon.) 12:00pm If you wish to have your cleanroom suit sent to laundry in the second run, please contact Ms. Lee leecl@phys.sinica.edu.tw as soon as possible. |
| 2011年07月28日 | RIE已恢復，即刻起開放使用。 |
| 2011年07月27日 | DBFIB 故障狀況已排除，即日起開放使用。 |
| 2011年07月27日 | RIE 因scroll pump出現異狀需保養，目前暫停使用。重新開放日期將另行公告，造成不便敬請見諒。 |
| 2011年07月18日 | ICP 已修復， 即日起開放使用 。 |
| 2011年07月14日 | DBFIB 因 SEM power supply 故障， 機台暫停使用，重新開放日期將再行公告。造成不便敬請見諒 。 |
| 2011年06月25日 | 中研院奈米核心設施無塵室即日起開放服務， 個別機台之復機情形請直接查詢預約網頁，或洽管理者。 Cleanroom service is resumed on 2011/06/25。 |
| 2011年06月10日 |
因應無塵室冷卻水管路安裝工程施作，無塵室預定於 6/17(Fri) 17:00 ~6/27(Mon) 14:00 暫停服務， 期間禁止進入， 請各位使用者及早做安排，造成不便敬請見諒；若有異動將再行公告，請使用者使用前先行查閱最新消息。 |
| 2011年05月19日 | PIPS 已維修完成，即刻起開放使用。 |
| 2011年05月11日 | Mask aligner 業已修復，即日起開放使用。 |
| 2011年05月03日 | 為提供國內產學界高品質之儀器服務，中央研究院奈米核心設施 之FEG-TEM(場發射穿透式電子顯微鏡) 將於2011年5~6月間，提供八折優惠價予中研院外使用者， 歡迎多加利用。 詳洽管理者陳怡蕙小姐 (Tel: 02-27898394)。 |
| 2011年05月03日 | 為服務國內產學界，中央研究院奈米核心設施光罩製作 項目， 將於2011年5~6月間 (依收件日期為準) 提供八折優惠價予中研院外使用者， 歡迎多加利用。 詳洽李固斌先生 (Tel: 02-27898956; email: kupin@phys.sinica.edu.tw) ，或見網頁 http://www.phys.sinica.edu.tw/~nanofacilities/laserwriter.htm。 |
| 2011年05月03日 | 中研院奈米核心設施即日起提供光罩AutoCAD 檔代繪服務。本服務僅提供給在本中心製作光罩者，歡迎舊雨新知多加利用 ，詳洽管裡者李固斌先生。 |
| 2011年05月03日 | Mask aligner 因韌體毀損暫停使用，重新開放日期將再行公告，造成不便敬請見諒。 |
| 2011年05月03日 | ELS-7000 e-beam writer 自2011年4月起調降使用費用為 $2000/hr，歡迎舊雨新知多加利用， 如有任何問題請洽管裡者賴水金先生。 另 DBFIB 開放自行使用，有意學習操作者請洽管理者郭白嘉先生。 |
| 2011年04月26日 | 2011年5月2日(週一)適逢勞動節補假， 本中心相關儀器管理者依勞基法規定放假一天，當日儀器依假日模式開放。 |
| 2011年04月20日 | Mask aligner搖桿已修復，即 日起開放使用。 |
| 2011年04月18日 | Thermal Evaporator(熱蒸鍍機) 維修復機完成，即刻起開放使用。 |
| 2011年04月18日 | FEGTEM 因冷卻水管漏水，4/18至4/22下午五時暫停開放使用，造成不便敬請見諒。 |
| 2011年04月18日 | ICP 因MFC氣體流量計故障暫停使用，重新開放日期將再行公告，造成不便敬請見諒。 |
| 2011年04月18日 | Mask aligner 因搖桿毀損暫停使用，重新開放日期將再行公告，造成不便敬請見諒。 |
| 2011年04月14日 | Thermal Evaporator(熱蒸鍍機) 因冷卻水管漏水，4/15午時起停機維修至4/18下午6時止， 造成不便敬請見諒。 |
| 2011年04月07日 | Thermal Evaporator(熱蒸鍍機) 管理者 由李固斌先生更改為陳志挺先生，即日起熱蒸鍍機相關事務及耗材請直接連繫陳志挺先生 (位於N302，TEL:2789-8956)。 |
| 2011年03月31日 | TEM 恢復正常開放，但PIPS因零件損壞廠商備料至少需時一個月以上，重新開放日期將再行公告，造成不便敬請見諒。 |
| 2011年03月25日 | 因TEM管理者公差，3/28(一)~ 3/30(三)期間 TEM僅開放完全自行操作者使用，PIPS有緊急需求者請電話聯絡管理者，造成不便敬請見諒。 |
| 2011年03月24日 | ELS7000已修復，即刻起開放始用。 |
| 2011年03月18日 | FEG-TEM復機完成，即日起恢復服務。 |
| 2011年03月18日 | ELS-7000 因真空系統異常，暫停使用，重新開放日期將另行公告，造成不便敬請見諒。 |
| 2011年03月17日 | DBFIB 異常狀況已排除，即 日起開放使用。 |
| 2011年03月15日 | 熱蒸鍍機 (Evaporator)復機完 成，即日起開放使用。 |
| 2011年03月11日 | DBFIB 冷卻水故障，暫停使用。重行開放時間，將另行公告。造成不便敬請見諒。 |
| 2011年03月07日 | PIPS 異常狀況已排除，即刻起回復正常使用。 |
| 2011年03月07日 | FEG-TEM 及 PIPS 儀器出現異常，暫停使用。重行開放時間，將另行公告。造成不便敬請見諒。 |
| 2011年03月04日 | Nanoimprinter 即刻起開放使用。 |
| 2011年03月03日 | 配合院區高壓電保養時程，FEG-TEM 暫訂於 3/12 ~3/18 停止服務。實際復機及重行開放時間，將另行公告。造成不便敬請見諒。 |
| 2011年03月01日 | 為配合中研院院區停電，3/11(五)17:00 ~ 3/14(一)12:00無塵室禁止進入操作使用。所有機台於3/14(一)中午起開放，除熱蒸鍍機 (evaporator)待復機完成後，開放時間再行公告。 |
| 2011年02月21日 | RIE、ICP今天起復機開放。 |
| 2011年02月15日 | 因氣體管路更動RIE、ICP於2/18暫停開放，重新開放日期將另行公告，請使用者使用前先行查閱最新消息，造成不便敬請見諒。 |
| 2011年02月09日 | 無塵室及 TEM 今日起全面恢復服務。 |
| 2011年01月26日 | FEGTEM因冷卻水保養，預定1/26~1/31暫停開放。 FEGTEM春節期間A級使用者開放自行使用，委測服務即日起暫停服務，2/10開始委託服務。 PIPS暫停開放使用時間為1/29~2/9。 若有不便之處，敬請見諒。 |
| 2011年01月25日 | Mask aligner 已修復 ，即刻起開放使用。 |
| 2011年01月24日 | Mask aligner 因軟體無法正常運作，目前維修中暫停使用，開放日期將另行公告 。造成不變敬請見諒。 |
| 2011年01月20日 | 無塵室訂於1/26(三)起關閉以進行歲末維修保養，敬請使用者提早安排實驗時程。訂於2/8(二)進行復機，情況順利再行開放時間即為2/9(三)，若有異動將再行公告，請使用者使用前先行查閱最新消息。 |
| 2011年01月13日 | 01/14(五) 9：00 am - 5：00 pm 無塵室將進行例行性大掃除暫不對外開放，並訂於5：00pm送洗無塵衣，預計送回時間為01/17午前。欲送洗者請於下午3點前將無塵服放置於更衣間，並確認衣、鞋及背袋皆清楚寫有自己姓名；第二批送洗時間為01/21(五)5：00pm，預計送回時間為01/24午前，需第二批時間送洗者請email連絡李逸倫小姐 leecl@phys.sinica.edu.tw 以作確認。 (1)Clean room will be temporarily closed for routine cleaning from 9：00am to 5：00pm on?Jan 14, 2011. (2)Laundry service for cleanroon suits: 1. pick up time: 01/14(Fri.) 5:00pm, return time 01/17(Mon.) 12:00pm 2. pick up time: 01/21(Fri.) 5:00pm, return time 01/24(Mon.) 12:00pm If you wish to have your cleanroom suit sent to laundry in the second run, please contact Ms. Lee leecl@phys.sinica.edu.tw as soon as possible. |
| 2011年01月07日 | RIE、ICP暫時恢復使用，氣體管路再行更動將再公告，請使用者使用前先行查閱最新消息，造成不變敬請見諒。 |
| 2011年01月04日 | RIE、ICP因氣體管路更動，暫停開放，重新開放日期將另行公告，造成不便敬請見諒。 |
| 2011年01月04日 | ELS7000已回復正常，即刻起開放始用。 |
| 2011年01月03日 | RIE已修復，即刻起開放使用。 |
| 2010年12月31日 | B1黃光室將於1月4日重新開放。 |
| 2010年12月28日 | RIE 因pump出現異常，目前暫停使用。重新開放日期將另行公告，造成不便敬請見諒。 |
| 2010年12月27日 | ELS-7000 因真空系統出現異常，暫時停止操作使用，重新開放日期將另行公告，造成不便敬請見諒。 |
| 2010年12月24日 | 因應應科中心機台移入，B1無塵室12/25~27暫停開放使用。Nanoimprinter因搬移12/25起停機，重新開放日期另行公告。 |
| 2010年12月21日 | DBFIB 已修復，即日起開放使用。 |
| 2010年12月16日 | RIE已修復，即刻起開放使用。 |
| 2010年12月15日 | RIE 因真空管線破裂，目前暫停使用。重新開放日期另行公告，造成不便敬請見諒。 |
| 2010年12月14日 | 熱蒸鍍機 (Evaporator)更換pump，即刻起停機，預計12月20日重新開放，造成不便敬請見諒。 |
| 2010年12月08日 | DBFIB 因真空系統故障，暫停開放。 開放日期將另行公告，造成不便敬請見諒。 |
| 2010年12月01日 | B1黃光室擬於12月15日至12月31日施作地板更新工程及化學櫃更新工程，施工期間B1黃光室不對外開放，其他區域正常運作，使用者可照常使用。請需操作B1黃光室內器材之使用者儘早做安排，避開工程時間。造成不便，敬請見諒。 |
| 2010年11月24日 | 熱蒸鍍機 (Evaporator)復機完畢，即刻起開放使用。 |
| 2010年11月24日 | RIE已修復，即刻起開放使用。 |
| 2010年11月19日 | 因冷卻水保養，預定11月23日上午9時~12時暫停開放無塵室1F，B1無塵室照常開放使用。 |
| 2010年11月18日 | 熱蒸鍍機 (Evaporator)需更換pump，預定11月19日17時起停機，重新開放日期對另行公告，造成不便敬請見諒。 |
| 2010年11月18日 | 因冷卻水保養廠商備料不及，原預定11月19日下午停止開放1F取消，使用者可正常使用。唯，下午更換濾片時空調會暫停十至十五分鐘，應不致影響使用者，若聽見異聲請勿驚慌。 |
| 2010年11月12日 | 熱蒸鍍機 (Evaporator)已修復，即日起開放使用。 |
| 2010年11月12日 | RIE 因turbo pump維修中，目前暫停使用。重新開放日期另行公告，造成不便敬請見諒。 |
| 2010年11月12日 | DBFIB 維修完畢，即日起開放使用。 |
| 2010年11月08日 | RIE 因turbo pump 故障目前無法使用，暫時只開放高壓製程。全面開放日期將另行公告，造成不便敬請見諒。 |
| 2010年11月08日 | 為配合冰水管路遷移，FEG-TEM 暫停服務至 11月12日。 |
| 2010年11月03日 | 熱蒸鍍機 (Evaporator) 因多處零件故障目前無法使用，即日起停機維修。重新開放日期將另行公告，造成不便敬請見諒。 |
| 2010年10月22日 | DBFIB 因電子槍高壓系統維修，暫停開放。 開放日期將另行公告，造成不便敬請見諒。 |
| 2010年10月15日 |
10/22(五) 9：00 am - 5：00 pm 無塵室將進行例行性大掃除暫不對外開放，並訂於5：00pm送洗無塵衣，預計送回時間為10/25午前。欲送洗者請於下午3點前將無塵服放置於更衣間，並確認衣、鞋及背袋皆清楚寫有自己姓名；第二批送洗時間為10/29(五)5：00pm，預計送回時間為11/01午前，需第二批時間送洗者請email連絡李逸倫小姐 leecl@phys.sinica.edu.tw 以作確認。 謝謝大家配合。 |
| 2010年09月27日 | FEGTEM清洗冷卻機及管路，預定時間為9/30~10/4，期間儀器暫停使用。不方便處敬請見諒。 |
| 2010年09月20日 | 熱蒸鍍機已修復，即日起開放使用。 |
| 2010年09月17日 |
熱蒸鍍機膜厚計臨時故障，暫停使用，重新開放日期將另行公告。 |
| 2010年09月08日 | 熱蒸鍍機已修復，即日起開放使用。 |
| 2010年09月07日 | 熱蒸鍍機 (Evaporator) 因人為操作不當，導致損壞無法使用，即日起停機維修。重新開放日期將另行公告。 |
| 2010年09月01日 | 為配合中研院院區停電，9/3(五)18:00 ~ 9/5(日)RIE、FIB、熱蒸鍍機 (evaporator)將暫停開放。9/4(六) ~ 9/5(日)整日無塵室禁止進入。RIE、FIB於9/6(一)中午起開放，熱蒸鍍機 (evaporator)復機完成後，開放時間將再行公告。 |
| 2010年08月30日 | 因應院區週末停電 ，TEM 將停機及復機， 9/3-9/8 暫停服務。 |
| 2010年07月20日 | 熱蒸鍍機即日起開放使用。 |
| 2010年07月14日 | 熱蒸鍍機因加熱電流故障，暫停使用。重新開放日期將另行公告，造成不便敬請見諒。 |
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