雙槍聚焦離子束系統（Dual Beam Focused Ion Beam system）
設備負責人: 王玉麟 博士; 設備管理者: 郭白嘉 (02-27880058 ext 4052)
型號: FEI NOVA-600
重要規格：
· Applications: FIB, SEM
·
Accelerating Voltage:
Electrons:
0.2 to 30 kV
Ions: Up to 30kV
· Electron Filament: Schottky Field Emitter
·
Dectectors:
Electron Imaging -
Everhart-Thornley Detector (SED)
Electron Imaging - Through-the-lens Detector
·
SEM Resolution:
3.5nm @ 30kV at
high vacuum
3.5nm @30kV in ESEM mode
<15nm @ 3kV in low vacuum mode.
· Ion Resolution: 7nm @ 30kV @ 1pA
· Gas Injectors:
Platinum - (CH3)3Pt(CPCH3)
Tungsten - W(CO)6
Insulator - TEOS
Fabrication and in situ Observation of Smooth 3D Structure on Si by Dual Beam FIB
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FIB Milling of Complex Structures |
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Low magnification
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High magnification |
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| Convex lens | Concave lens |
系統管理規則
(1) 設置專業技術人員一名，負責管理及維護設備正常運作，並負責訓練及考核使用者。
(2) 一般只接受委託操作。欲自行使用者必須對電子顯微鏡（SEM或TEM）已有相當程度的經驗。由儀器管理者依個案決定是否可訓練自行操作或僅接受委託操作。
(3) 其餘規定配合無塵室守則及奈米核心設施使用 規定。