行政架構

簡介

訓練課程

優先順序

使用規則

計費方式

聯絡人

 

 

 

 
 
簡介

中央研究院為發展奈米相關研究及有效運用重點設施,成立奈米核心設施中心。所支援之研究包括奈米結構和奈米材料之合成及其特性研究,及其他相關研究。中央研究院奈米核心設施的建構,其經費結合了來自國家型奈米科技研究計畫之核心設施補助款項及中央研究院的配合補助款,希望能建立更完善的奈米核心設施並促進研究單位之合作。

 

本院之奈米相關儀器除了核心設施 (core facilities) 以外另有一些共用設備 (shared facilities)。其中經由本單位執行管理之儀器(列於線上申請頁者),其使用規定請見以下細節以及個別儀器介紹非經本單位執行管理之儀器其使用辦法 請洽各儀器管理者詳見個別儀器介紹網頁

訓練課程

 

所有設備都接受委託操作但助理學生們有意學習自行使用儀器者:


(1) TEM訓練課程請參見TEM管理辦法

(2) 製程相關設備: 將不定期依申請者人數需求舉辦訓練課程

 另外可至台大奈米機電中心(原國科會北區微機電中心)參加儀器訓練及檢定課程 (http://nems.ntu.edu.tw)

(3) E-beam writer: 請參閱 ERA-8800 e-beam writer 使用及訓練規則.


(註: 三個月(含)以上沒有使用儀器者,將失去自行使用執照
須重新訓練。)

 

優先順序

 

奈米核心設施使用之優先順序如下:

  (1) 中央研究院內之奈米國家型科技計畫   

  (2) 中央研究院內之其他奈米相關計畫   

  (3) 中央研究院外有奈米合作計畫之研究單位   

  (4) 國內學術及產業界有奈米相關計畫者

 

共用設備之使用方式權限依各儀器規定請洽各儀器聯絡人

 

使用規則

欲使用相關設備之人員必須以網路線上申請,並務必在申請表格裡詳述其研究為何種奈米相關尖端研究,並解釋需使用此設備之理由,由中央研究院奈米核心設施負責人員審核使用資格,若通過資格審核者,線上預約系統方會開啟申請者使用帳號並提供線上預約之服務。

 

自行使用者等級:使用者依經驗及訓練分等級,等級分法依各儀器而不同,詳見個別儀器管理辦法

 

委託操作: 各核心設施儀器皆提供委託操作,共用設備則視個別儀器狀況而定。 但使用者必須先與儀器管理者討論其使用需求,並在委託操作時到場協助。(Laser writer 之使用申請,另行規定)。簡單之黃光製程可接受委託製作,收費將以個案計有意委託製作者請與無塵室管理者劉家榮先生聯絡討論

 

使用規範:詳細使用規範視個別儀器狀況而定。請參考個別儀器管理辦法,及無塵室使用守則。儀器操作相關問題,可直接與儀器聯絡人聯繫討論 。

 

使用誌謝: 使用者若有使用本核心設施儀器所導致之研究成果,應在發表時在其論文中加註: Technical support from NanoCore, the Core Facilities for Nanoscience and Nanotechnology at Academia Sinica, is acknowledged.

 

法律責任: 使用者若涉及任何侵權或法律相關之爭端需自行負責。

計費方式

非經本單位執行管理之儀器其收費標準與方式請洽個別儀器管理者

 

儀器訓練及使用收費一覽表

無塵室使用基本費用(恕不折扣): 每人每半年收費 $6000

儀器使用收費標準: 院內人士收費半價,院外人士收費原價。(以下表格所示均為原價。)

(收費標準將來可能依實際使用情形彈性調整)

 

核心設施 (core facilities)

設備名稱

單位時數

(hr)

每單位收費(NT$)

備註

TEM

(試片須自行準備)

3

1.5

8000

4000

下班時段:原時段價格再五折

Nanoparticles fabrication System

8

5000

以合作計畫為主

Dual Beam FIB system

3

8000

以委託為主

E-Beam Writer

(ELS-7000)

1

4000

僅接受委託操作, 以收件方式處理

Laser Writer

5"玻璃一片

視曝光時間而定

僅接受光罩製作委託

共用設備 (shared facilities)

設備名稱

單位時數

(hrs)

每單位收費(NT$)

備註

Mask aligner

1.5 $600 委託操作每單位$1200

ICP Etching System

1.5

$3500

委託操作每單位$5000

RIE 1.5 $1500 委託操作每單位$3000
Thermal Evaporator 3 $1500 委託操作每單位$2000

E-Beam Writer

(ERA-8800)

2 $2000 委託操作每單位$4000
VSM 2 $1000 委託操作另計
ion mill 1 $300 無委託

訓練課程基本費 (訓練費=基本費+儀器使用費)

設備名稱 基本費 (NT$) 備註

Mask aligner

(含黃光室一般訓練)

$4000

須滿3人才開課

ICP $2000  
RIE $2000  
ERA-8800 $20000

詳見ERA-8800規則

 

 

收費方式說明:

 

 院內人士:

中研院奈米核心設施管理單位,每年一次結算統計使用人所應支付之費用。本單位將從使用人之院內研究計畫或是業務費用配額之中,將應付款項轉至本設施之管理單位。

 院外人士:

中央研究院奈米核心設施管理單位審核儀器使用資格後,方可開放預約儀器使用。每次儀器使用前,請先至本設施管理單位繳交儀器使用費用,並領取統一收據(本收據可使用於報賬),付費程序完成後,持收據至儀器管理者處,方可使用儀器。

 

以上收費適用於奈米相關學術研究計畫。若有要使用本設備為營利之商業行為者,管理及收費等辦法另 依個案訂之。

聯絡人

奈米核心設施總負責人 (general manager)  

   薛韻馨 博士  

    phone: 02-27896762

奈米核心設施管理中心:

   李逸倫 小姐

     phone: 02-27880058 ext 4052 

    email: nanocore@phys.sinica.edu.tw

 

個別設備管理人 (facility manager): 

TEM:    陳怡蕙小姐       02-27880058 ext 1226 ihchen@phys.sinica.edu.tw

Nano-particles system: 李秉中先生  02-27880058 ext 1017 iamplex@phys.sinica.edu.tw

ICP etcher, RIE 及黃光製程:   劉家榮先生   02-27880058 ext 4052 cjliu@phys.sinica.edu.tw

Dual Beam Focused Ion Beam:    郭白嘉 先生      02-27880058 ext 4052 paichia@phys.sinica.edu.tw

Laser Writer:   李固斌先生  02-27880058 ext 4052 kupin@phys.sinica.edu.tw

E-beam Writer:  賴水金先生 02-27880058 ext 4052 hjlai@phys.sinica.edu.tw