簡介

    中央研究院為發展奈米相關研究及有效運用重點設施，成立了中研院奈米核心設施中心，希望能促進資源共享及研究單位間之合作。 奈米核心設施所支援之研究包括奈米結構和奈米材料之製程和其特性研究，及其他相關研究。中央研究院奈米核心設施的建構與營運經費，其來源為國家型奈米科技研究計畫之核心設施補助款，以及中央研究院的奈米科技計畫之核心設施支援款項。

    本院之奈米相關儀器除了核心設施 (core facilities) 以外，另有一些共用設備 (shared facilities)。其中經由本單位執行管理之儀器(列於線上申請頁者)，其使用規定請見以下細節以及個別儀器介紹。非經本單位執行管理之儀器，其使用辦法請洽各儀器管理者，詳見個別儀器介紹網頁。

使用規則

欲使用相關設備之人員必須以網路線上申請，並務必在申請表格裡詳述其研究為何種奈米相關尖端研究，並解釋需使用此設備之理由，由中央研究院奈米核心設施負責人員審核使用資格 。通過資格審核並繳交相關之付費同意書者，管理者方會開啟其使用帳號 ，讓申請者可以使用線上預約系統。使用者須依其預約時間使用，若佔用他人預約時段，管理者將視其為違規處理之。

　

自行使用者等級：使用者依經驗及訓練分等級，等級分法依各儀器而不同，詳見個別儀器管理辦法。

　

委託操作: 各核心設施儀器皆提供委託操作，共用設備則視個別儀器狀況而定。 使用者必須先與儀器管理者討論其使用需求，並儘可能在委託操作時到場協助。簡單之黃光製程或 e-beam 製程可接受委託製作，收費將以個案計。有意委託製作者，請與賴水金先生(02-27898956) 聯絡討論。

　

使用規範：詳細使用規範視個別儀器狀況而定。請參考個別儀器管理辦法，及無塵室使用守則。儀器操作相關問題，可直接與儀器聯絡人聯繫討論 。

　

使用誌謝: 使用者若有使用本核心設施儀器所導致之研究成果，應在發表時在其論文中加註: Technical support from NanoCore, the Core Facilities for Nanoscience and Nanotechnology at Academia Sinica in Taiwan, is acknowledged.

　

法律責任: 使用者若涉及任何侵權或法律相關之爭端需自行負責。

收費方式

  • 收費方式說明:

    • 院內人士:

    由中研院奈米核心設施中心管理單位，依規定結算統計使用人(使用人乃指計畫主持人)所應支付之費用。本單位將從使用人之院內研究計畫或是業務費用配額之中，將應付款項轉至本單位。若使用人未依規定付費，本中心將停止其使用權，直至所欠費用繳清為止。

    院外人士:

    由中央研究院奈米核心設施管理單位審核儀器使用資格後，方可開放預約儀器使用。儀器訓練或每次儀器使用前，請先至本設施管理單位繳交儀器使用費用，並領取統一收據（本收據可使用於報賬），付費程序完成後，持收據至儀器管理者處，方可使用儀器。

    　

  • 儀器訓練及使用收費一覽表 (以下表格所示均為原價。)

    • * 無塵室使用基本費用(恕不折扣): 每人每半年收費 $6000 (開門禁卡即需付費，院外人士請 以現金繳納。不再使用無塵室者請主動通知管理者，以避免被持續扣款。

    * 儀器使用收費及折扣標準: 院外人士收費原價，院內人士收費五折， 儀器托管之院內單位使用者三折。TEM 及光罩製作收費另依相關規定 。訓練費及耗材費用不打折。

    * 非經本單位執行管理之儀器，其收費標準與方式請洽個別儀器管理者。

    　

    (* 收費標準將來可能依實際使用情形彈性調整)

    核心設施 (core facilities)

    設備名稱

    每單位時數

    （hr）

    每單位收費（NT$）

    備註

    TEM

    (試片須自行準備)

    3

    (1) 10000

    (1) 院外使用者, 日間完全委託

    (2)  8000

    		 (2) 院內使用者, 日間完全委託
    (3)  6000 (3) 日間部分委託(操作員放置樣品; 餘由使用者自行操作)
    (4)  4000 (4) 上班時間自行操作

    (5)  2000

    		 (5) 非上班時間自行操作

    Dual Beam FIB system

     4 (早上時段)

     2 (下午至晚上時段)

    8000 (委託操作)

    2000 (自行操作)

     僅使用SEM者半價

    E-Beam Writer

    (ELS-7000)

    1

    2000

    以委託操作為主

    Laser Writer

    5"玻璃一片

    		 視曝光時間而定

     僅接受光罩製作委託

    共用設備 (shared facilities)

    設備名稱

    每單位時數

    （hrs）

    每單位收費（NT$）

    備註

    Mask aligner

    		 1.5 $600 委託操作每單位$1200

    ICP Etching System

    1.5

    		 $2000

    委託操作每單位$4000
    RIE 1 $1500 委託操作每單位$3000
    Thermal Evaporator 3 $1500 委託操作每單位$2000

    E-Beam Writer

    (ERA-8800)

    		 2 $2000 委託操作每單位$4000

    Nanoimprinter

    		1 $1500 無委託
    VSM 2 $1000 委託操作另計
    ion mill 1 $300 無委託

    訓練課程基本費/每人 (訓練費=基本費+儀器使用費)
    設備名稱 基本費 (NT$) 備註

    Mask aligner

    (含黃光室一般訓練)

    		 $4000

    　
    ICP $2000 　
    RIE $2000 　
    Nanoimpinter $2000 　
    ERA-8800 $20000

    詳見ERA-8800規則
    Dual beam FIB/SEM

    $5000 for SEM only

    $10000 for SEM+FIB

    		 欲學習FIB操作者，需先有本機台之SEM使用執照

    　

  • 以上收費適用於奈米相關學術研究計畫。若有要使用本設備為營利之商業行為者，管理及收費等辦另依個案訂之。

    • 使用統計

    　

    2009年使用統計    2010 年使用統計   2011年使用統計

    聯絡人

    奈米核心設施管理中心:

       李逸倫 小姐

        phone: 02-27898956

        email: nanocore@phys.sinica.edu.tw

    　

    個別設備管理人 (facility manager): 

    TEM:  曾傳銘 博士       02-27896730 tsengcm@phys.sinica.edu.tw

    RIE, Nanoimprinter:   黃櫻芬 小姐   02-27898956 huangyf@phys.sinica.edu.tw

    Dual Beam Focused Ion Beam (FIB)/ SEM:    郭白嘉 先生      02-27898956 paichia@phys.sinica.edu.tw
    Evaporator & Mask Aligner:   陳志挺 先生  02-27898956 nego@phys.sinica.edu.tw

    E-beam Writer 及黃光製程諮詢:  賴水金 先生 02-27898956 hjlai@phys.sinica.edu.tw

    VSM 及光罩製作諮詢:  李固斌 先生 02-27898956 kupin@phys.sinica.edu.tw

    　

    * 設備細節請參考儀器介紹

    * 若您對個別設備之管理有任何意見，歡迎您用email 向管理中心反映。