|
加速電壓：200kV 電子槍：場發射電子源 點分辨率：0.19 nm 線分辨率：0.1 nm 放大倍率： 2,000倍∼1,500,000倍 可偵測訊號：明-暗視野穿透電子影像、 繞射圖像、選區成像、EDS光譜、NBD與CBD |
EDX (Energy Dispersive X-ray Analyzer： 機型：OXFORD INCATM Microanalysis System 能量解析度：136 eV 最小spot size : 0.5 nm 可偵測元素：B∼U (原子序 5∼92)
|
系統管理規則:
(1) 設置專業技術人員一至二名，負責管理及維護設備正常運作，提供服務並負責訓練及考核使用者。
(2) 依使用經驗與記錄區分使用者等級與開放權限。
(3) 委託操作者要到場說明及協助。
(4) 違規者或長期未上機者將予以降級或停權。
(5) 其餘規定配合奈米核心設施使用規章。
(6) 使用儀器前請務必詳讀 送測樣品規範(其他規則參見場發射穿透式顯微鏡管理辦法)