型號: Elionix ERA-8800 (30keV)
Capabilities:
本系統裝有NPGS (Nanometer Pattern Generation System)。
可曝出的最小線寬與間距原則上可達100nm以下，但實際上可達線寬是由所需的前後製程要求, 及所需用的電子阻劑性質及剖面圖決定。
Specifications
Electron gun: ZrO/W thermal field emission
Resolution: 1.5nm(30KV), 5nm(1KV)
Acceleration voltage: 0.3~30KV
Magnification: 20 ~600000
Specimen driving range: X:0~40mm Y:0~80mm Z:4~36mm Rotation:360 degree
Electrical shift of field of view: X-Y: ±30 μm Rotation:360 degree
Holder size: 14mm x 14mm (max)
設備負責人：陳啟東博士; 管理者: 賴水金 27880058 ext 4052)
