NEC 9SDH-2 3 MV 串級靜電加速器
中央研究院物理研究所的 NEC 9SDH-2 3 MV 串級靜電加速器其構造如圖所示，其中各組件的功能茲簡述如下：
離子源：
中央研究院物理所的 9SDH-2 串級靜電加速器具有兩個負離子源，一為 SNICS（Source of Negative Ion by Cesium Sputtering，簡稱 SNICS）離子源：採用固體材料為陰極，可產生多種不同的陰離子（其適用的元素範圍自氫至金）；另一為 Alphatross（charge exchange RF ion source，簡稱 Alphatross）離子源：採用氣體材料為陰極，以產生氦三與氦四的陰離子為主。
加速器本體：
9SDH-2 串級靜電加速器係為美國 NEC 公司所設計製造的加速器，其係利用靜電場來加速帶電粒子，最高終端電壓為 3 MV。離子源所產生的射束，經由偏轉磁鐵偏折後，到達高電壓端處，藉由位於該處的電荷剝離器剝掉離子上的電子，而使該離子由帶負電的陰離子變成帶正電的陽離子，而該等陽離子再經由高壓端向另一端加速，而成高速陽離子射束。加速管本體與高壓端通常置於一高壓鋼筒內，筒內充以高壓絕緣氣體（六氟化硫，SF6）。高壓端內的電荷剝離裝置具有碳膜及氮氣兩種型式，其用以將陰離子轉變為陽離子。
加速器本體的真空度的都維持在 10-7 ~ 10-8 torr 之間，而裝置量測系統的靶室則維持在 ~ 10-7 torr。在此高真空度之下，帶電粒子幾乎不會與氣體分子碰撞，而能順利在電場中運動。
離子的種類可以利用加速器的偏轉磁鐵來篩選，而離子的質量與磁力的關係可以由下式表示：
其中
為離子質量，
為離子速度，
為離子偏轉的曲率半徑，
為離子電荷量，
為磁場強度。所以在固定的曲率半徑時，不同質量的離子，只能通過具有特定磁場強度的分析磁鐵。
在
90o
磁鐵後，裝置有一組的狹縫（silt），藉由狹縫的開口大小來加以限制入射離子曲率半徑與離子電流，以達到篩選入射離子的能量與種類的作用。
通過 90o 磁鐵後的入射離子束，再經由分析磁鐵將離子束引入 0o 射束線，並利用四極磁鐵（quadrupole）來進行離子束聚焦的動作，同時，使用位於四極磁鐵後的狹縫來校準與限制入射的離子束電流強度，使離子束能直接進入偵檢系統內，以便進行實驗的量測工作。
